博士,北京大学研究员,北京协同创新研究院光电技术研究所高级创新师。
1986年 哈尔滨船舶工程学院机械系学士学位
1994年 哈尔滨工程大学机电学院学院硕士学位
2000年 北京大学信息科学技术学院博士学位
1990年-2000年 电子科技集团49研究所工程师
1996年-1997年 美国RAE SYSTEMS公司访问学者
2003年 北京大学信息科学技术学院研究员
2016年-至今 北京协同创新研究院光电技术研究所高级创新师。
科研或企业项目经历:主要开展MEMS传感器,MEMS技术、产品、应用及标准化等研究。
曾完成科研项目:北京市项目“多轴力传感器”;工信部创新基金项目“MEMS湿度传感器”;科技部863项目“汽车ESP用系列微传感器”;国防项目:“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”、“MEMS加速度传感器”、“MEMS冲击开关”、“高精度加速度传感器”等,其中“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”获部级科技进步二等奖。
曾获得专利有:MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法,ZL03104781.5;一种加工制造微电子机械制造元器件的方法,ZL03127940.6;压阻式微型气体流量计芯片及制备方法和流量计,ZL03104785.8;MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法,ZL03104784.X;热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法,ZL200510011463.9;申请专利有:一种MEMS微加速度的结构及其制造方法,201110082218.2;压阻式大过载加速度计及其制备方法,GF保密;单片集成压阻式抗高过载三轴加速度计,GF保密;一种阵列式抗高冲击加速度传感器的结构及其制造方法,GF保密。
学术兼职:现任中国电子学会高级会员;全国微机电技术标准化委员会(SAC/TC336)委员;仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事;担任国际电工委员会IEC/TC47/WG7和IEC/SC47F/WG3召集人。制定多项国家和国际标准。
研究领域:MEMS传感器,MEMS技术、产品、应用及标准化。