博士,北京大学教授、博士生导师,北京协同创新研究院光电技术研究所高级创新师。
1978年-1982年 吉林大学电子科学系半导体物理与器件专业,获理学学士学位
1982年-1985年 吉林大学电子科学系半导体物理与器件专业,获理学硕士学位
1997年-2001年 北京航空航天大学材料科学系材料学专业,获工学博士学位
1985年-1994年 北京航空航天大学应用物理系,助教、讲师
1994年-1999年 北京航空航天大学应用物理系,副教授
1999年-2000年 丹麦技术大学微电子中心,访问学者
2000年-2001年 北京航空航天大学应用物理系,副教授
2001.10-2003年 北京大学信息科学技术学院微电子学系,博士后
2003年-2008年 北京大学信息科学技术学院微电子学系,副教授
2008年-至今 北京大学集成电路学院,教授
2022年-至今 北京协同创新研究院光电技术研究所高级创新师。
研究领域:主要从事微纳机电系统方面的研究工作,研究方向包括:基于MEMS技术的非制冷红外和太赫兹焦平面阵列及其成像技术研究;超材料功能元件及其在红外和太赫兹成像技术领域的应用研究;微悬臂梁式生化传感器及其与CMOS电路的单片集成技术研究;硅基纳米结构和器件的制造技术研究等。