◆微纳电子工程联合实验室

依托单位：北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室

主要方向：数值微米纳米技术、微纳器件研制及应用

◆微纳电子实验室

研究柔性材料、器件及系统、MEMS传感技术及其他传感技术

◆光电子集成实验室

研究硅基光电子半导体技术